设计手册虽然是为设计者准备的参考书，但是有些内容对于光刻工程师，特别是“layer owner”，非常有用。这些内容包括：

（1） 器件的整个结构；

（2） 制造流程中所有光刻层的名字、功能及最小线宽要求；

（3） 光刻层之间对准的顺序；

（4） 针对不同功能的器件，哪些光刻层可以省略；

（5） 在BEOL部分，哪些光刻层是在超低介电常数材料上，哪些光刻层是在低介电常数上，以及每一种介

电层的厚度；

（6） 每一个光刻层的设计规则。