四氟化碳

更新时间:2023-12-17 12:58

四氟化碳,又名四氟甲烷,化学式为CF4,它既可以被视为一种卤代烃(有机物),也可以被视为一种无机化合物,常温常压下为无色气体,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

理化性质

熔点:-184℃

沸点:-130℃

临界温度:-45.5℃

临界压力:3.74MPa

折射率:1.113(-53ºC)

饱和蒸气压:13.33kPa(-150.7℃)

外观:无色气体

溶解性:不溶于水,溶于苯和氯仿

分子结构数据

摩尔折射率:7.3

摩尔体积(cm3/mol):66.8

等张比容(90.2K):105.0

表面张力(dyne/cm):6.0

极化率(10-24cm3):2.89

计算化学数据

疏水参数计算参考值(XlogP):1.8

氢键供体数量:0

氢键受体数量:4

可旋转化学键数量:0

互变异构体数量:0

拓扑分子极性表面积:0

重原子数量:5

表面电荷:0

复杂度:19.1

同位素原子数量:0

确定原子立构中心数量:0

不确定原子立构中心数量:0

确定化学键立构中心数量:0

不确定化学键立构中心数量:0

共价键单元数量:1

用途

主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

储存方法

储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

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